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吴德馨在20世纪70年代末研究成功MOS4K位动态随机存储器。在国内首先将正性胶光刻和干法刻蚀等技术用于大规模集成电路的研制，并进行了提高成品率的研究。首先在国内突破了LSI低下的局面。随后又相继研究成功16K位和64K位动态随机存储器。开发成功双层多晶硅和差值氧化工艺，独创了检测腐蚀接触孔质量的露点法。

随后，吴德馨在20世纪80年代末期自主开发成功3微米CMOSLSI全套工艺技术，用于专用电路的制造。研制成功多种专用集成电路并研究开发成功VDMOS系列功率场效应器件和砷化嫁异质结高电子迁移率晶体管。20世纪90年代研究成功0.8微米CMOSLSI工艺技术，和0.1微米T型栅GaAsPHEMT器件。

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欧洲央行行长：即便预期通胀飙升只是短期现象，欧洲央行也已准备好加息
2026/04/09 推荐
187****6166 回复 184****9029：纳指重回22000点拼多多大涨9%来自格尔木
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4948于露辰342
谷歌需承担 30% 的损害赔偿责任，Meta需承担七成损害赔偿责任。
2026/04/08 推荐
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153路梦钧ry
中美双方就特朗普访华事保持着沟通
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